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鋁合金腔體表面防護和缺陷修復(fù)技術(shù)

鋁合金腔體表面防護和缺陷修復(fù)技術(shù)

交易信息：
完全轉(zhuǎn)讓-0.00 元
技術(shù)領(lǐng)域：
先進(jìn)制造技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域：裝備制造
最后更新時間：2022-07-28 15:56
所在地：
吉林省 長春市 南關(guān)區(qū)
所有者：
飆飆
聯(lián)系方式：
13756056562
本項目采用冷噴涂在鋁合金腔體表面噴涂防護涂層，或?qū)﹁T造鋁合金缺陷進(jìn)行修復(fù)，滿足其使用要求。該技術(shù)提供一種等離子刻蝕腔體表面防護涂層的制備方法，該涂層能減少或阻止腐蝕性氣體對腔體的腐蝕和金屬離子對半導(dǎo)體晶片的污染，提高等離子體刻蝕晶片生產(chǎn)中反應(yīng)室腔體材料的使用壽命。應(yīng)用于大規(guī)模集成電路等離子體刻蝕腔體表面防護。

技術(shù)特點(包含主要技術(shù)指標(biāo)）

本項目利用冷噴涂低溫高速的特點，一方面在鋁合金表面噴涂防護涂層，解決鋁合金在強腐蝕介質(zhì)中的腐蝕問題，同時保持鋁合金零部件的尺寸精度；另一方面也可以對具有鑄造缺陷或磨損的鋁合金部件進(jìn)行修復(fù)，滿足其使用要求。


阿薩德1111245